通常我們講的壓力變送器都是按照原理來(lái)分的:電容式壓力變送器,電阻式壓力變送器,電感式壓力變送器,半導(dǎo)體式壓力變送器、還有高頻測(cè)量的壓電式壓力變送器等。其中電阻式壓力變送器用的最多。而電容式壓力變送器以羅斯蒙特公司的3051S型變送器為高端產(chǎn)品的代表。
壓力變送器按照壓力敏感元件可分為金屬式、陶瓷、擴(kuò)散硅、單晶硅、藍(lán)寶石、濺射薄膜等。
●金屬壓力變送器精度差,但溫度影響小,適用于溫度范圍廣,精度要求低的領(lǐng)域。
●陶瓷壓力傳感器精度好一點(diǎn),但受溫度影響比較大,陶瓷還有個(gè)好處是耐沖擊,耐腐蝕,可以用在化工領(lǐng)域。
●擴(kuò)散硅壓力變送精度很高,溫漂也很大,所以一般都要進(jìn)行溫度補(bǔ)償,才能用。而且即使溫度補(bǔ)償了過(guò)后,還是不能測(cè)量超過(guò)125MPa以上的壓力。不過(guò)在常溫狀況下,擴(kuò)散硅的敏感系數(shù)是陶瓷的5倍,所以一般用在高精度測(cè)量領(lǐng)域。
●單晶硅壓力變送器是工業(yè)實(shí)踐中精度最高的傳感器,是擴(kuò)散硅的升級(jí)版,當(dāng)然價(jià)格也隨之升級(jí)。目前,在單晶硅壓力器領(lǐng)域以日本橫河為代表。
●藍(lán)寶石壓力變送器對(duì)溫度變化不敏感,即使在高溫條件下,也有著很好的工作特性;藍(lán)寶石的抗輻射特性極強(qiáng);無(wú)p-n 漂移;可在最惡劣的工作條件下正常工作,并且可靠性高、精度好、溫度誤差極小、總體性價(jià)比高。
●濺射薄膜壓力變送器不存在任何膠粘劑,比粘貼式應(yīng)變片傳感器顯示出高的長(zhǎng)期穩(wěn)定性與可靠性;受溫度影響小:在溫度變化100℃時(shí),零點(diǎn)漂移僅為0.5%。其溫度性能遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于擴(kuò)散硅式壓力傳感器;另外還可直接與一般的腐蝕性介質(zhì)接觸。
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